في تصنيع أشباه الموصلات، يجب أن تلبي المعدات معايير النقاء والثبات الصارمة. وقد تم تطوير خدمات الطلاء والتبطين التي نقدمها لحماية معدات المعالجة من التآكل الكيميائي وتآكل السطح والالتصاق غير المرغوب فيه، مما يضمن أداءً موثوقاً به في البيئات الصعبة. ولذا يعمل فريقنا، الذي يمتلك أكثر من عقدين من الخبرة، داخل غرف نظيفة من الفئة 1000 والفئة 10000 المصممة لمعالجة المكونات المستخدمة في إنتاج المواد الكيميائية والبوليمرات الإلكترونية. كما تساعد الضوابط البيئية الصارمة على تقليل التلوث وضمان تلبية الأسطح المطلية لمتطلبات النقاء لتخزين المواد الكيميائية واستقرار التفاعل. النتيجة: تقليل إطلاق أيونات المعادن وتحسين الاتساق وإطالة عمر خدمة معدات تصنيع الموصلات.

• مقاومة عالية للتآكل
• نقاء فائق
• سطح غير لاصق
• التحكم في الكهرباء الساكنة
• احتكاك منخفض

• في أنظمة ومعدات الخلط
• في أنظمة ومعدات الترشيح
• في أنظمة ومعدات التجفيف
• في صهاريج النقل المتنقلة
• في خزانات التخزين
• في أجزاء نقل وتنظيف أشباه الموصلات
• في الأبراج المعبأة (المحشوة)
• في أعمدة راتنجات الامتصاص

تتطلب المعدات المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات، مثل المفاعلات، خزانات التحضير، المرشحات، وأجهزة رفع الكوارتز، حماية سطحية تلبي أعلى معايير النقاء والمقاومة الكيميائية الصارمة. ولذا، نقدم خدمات الطلاء والتبطين باستخدام مواد متقدمة مثل PFA، ECTFE (F30, Halar)، وPVDF، مع درجات نقاء قابلة للتحقيق تتراوح بين G2 إلى G5، كما أن جميع الطلاءات تُجرى في غرفة نظيفة مخصصة من الدرجة 1000، مصممة خصيصاً لتلبية متطلبات صناعة أشباه الموصلات. وهذه البيئة المحكمة تساعد على تقليل التلوث إلى أدنى حد، وتضمن تحقيق تشطيبات عالية الجودة ومستقرة عبر مجموعة متنوعة من أنواع المعدات.

نماذج لتطبيقات طلاء الفلوروبوليمر

وعاء تحضير مادة الفوتوريزست
مطلي بطبقة عالية النقاء من PFA لضمان محتوى إجمالي لأيونات المعادن أقل من 1 جزء في المليار، مع مستويات أيون الذهب أقل من 0.2 جزء في المليار. كما يتوفر PFA الموصل كهربائيًا بمقاومة تتراوح بين 10⁻⁵ إلى 10⁻⁹ أوم. سم ونقاء يتراوح من 10 أجزاء في المليار إلى 1 جزء في المليار.

وعاء تفاعل البولي إيميد (PI)
يُستخدم في إنتاج مواد البولي إيميد لتطبيقات أشباه الموصلات، حيث تُطلى هذه الأوعية بطبقة عالية النقاء من PFA بهدف تقليل تلوث أيونات المعادن، مع الالتزام بأعلى معايير النقاء التي تشمل محتوى إجمالي للمعادن أقل من 1 جزء في المليار ومستوى أيونات الذهب أقل من 0.2 جزء في المليار.

روبوت نقل الرقائق
مطلي بطبقة فلوروبوليمر عالية النقاء لمنع تلوث أيونات المعادن أثناء نقل الرقائق. كما يمكن أيضاً تطبيق الطلاء على الركائز الخزفية، وتتوفر خيارات مضادة للكهرباء الساكنة لتلبية احتياجات الحماية الخاصة من تفريغ الشحنات الكهربائية (ESD)

آلة تلميع دقيقة على الوجهين
تستخدم في تطبيقات مثل ركائز أشباه الموصلات والترانزستورات والبصريات الدقيقة، حيث يتم تطبيق طلاء PFA عالي النقاء على المكونات الرئيسية لتوفير مقاومة التآكل وتقليل التلوث المعدني. وتحقق متانة ممتازة ضد الأحماض القوية والقلويات والمذيبات العضوية.

ذراع رفع الكوارتز
يحمي الكوارتز والركائز المشابهة من التعرض للمواد الكيميائية، بما في ذلك حمض الهيدروفلوريك، كما يوفر الطلاء خصائص ممتازة طاردة للماء والزيوت، مما يقلل من التلوث الناتج عن سوائل التنظيف. ولذا، فهو مناسب للعمل ضمن نطاق درجات حرارة من سالب 180  إلى 260  درجة مئوية

معدات صقل الرقاقات

مفاعل من الدرجة الإلكترونية (طلاء PFA عالي النقاء)

مفاعل مقاوم للضوء (طلاء PFA عالي النقاء)

مفاعل مقاوم للضوء (طلاء PFA عالي النقاء)

خزان معزز بالتحريك (مطلي بطبقة PFA عالية النقاء)

طلاء في غرفة نظيفة من الفئة 5 بمعاير ISO

نقدم خدمات تبطين بالبوليمر الفلوري (الفلوروبوليمر) لمختلف معدات تصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك الحاويات المحمولة والخزانات الرأسية والأفقية ووحدات الترشيح، حيث تُستخدم مواد مثل PFA وECTFE وPVDF حسب احتياجات المعالجة، بمستويات نقاء تتراوح من G3 إلى G5 ، كما يتم الإنتاج في منشأة غرف التنظيف المخصصة لدينا، مما يضمن جودة متسقة ومستوى عالٍ من النظافة طوال عملية التبطين.

نماذج من تطبيقات التبطين بالفلوروبوليمر

التبطين بـ PTFE الجديد لخزانات تخزين حمض الهيدروفلوريك فائق النقاء

الخزانات المبطنّة بـ PTFE لتخزين المواد الكيميائية بدرجة إلكترونية

خزان تفاعل ثلاثي كلوريد النيتروجين مبطّن بطبقة PFA

التبطين بـ N-PTFE عالي النقاء للخزانات المحمولة

التبطين بـ N-PTFE GBK لحاويات حمض الكبريتيك بدرجة إلكترونية

أغلفة (هياكل) فلاتر الخرطوشة المبطّنة بطبقة PFA بدرجة إلكترونية

خزان طلاء بدرجة حرارة عالية مبطّن بطبقة PFA